第250章 梁孟松遇到问题

  北京中关村，维度硅基实验室，地下无尘车间。

  凌晨三点，车间內没有任何昼夜交替的概念，只有极其明亮且恆定的led冷光源，以及过滤系统单调的嗡鸣。

  梁孟松站在主控台前，死死盯著屏幕上正在飞速刷新的验证数据。他原本花白的头髮此刻显得更加凌乱，布满血丝的双眼里透著难以掩饰的焦虑。

  “滴——”

  屏幕中央弹出了一个刺眼的红色“fail”提示框。

  “梁工，套刻精度偏差数值依然下不来。”负责標定的核心工程师摘下面罩，抹了一把额头上的汗水，声音里带著深深的挫败感，“蔡司的极紫外反射镜模组我们已经完美物理落位，光源链路也没有问题。但在14纳米这个级別的製程节点上，我们现在的对准误差超过了允许范围的两纳米。”

  梁孟松双手撑在操作台上，长长地吐出了一口浊气。

  两纳米。在普通人眼里连一根头髮丝的几万分之一都不到，但在半导体先进位程里，这就是生与死的鸿沟。对准误差超过这个閾值，生產出来的晶圆就会全部短路，变成一堆毫无价值的废硅片。

  “不是你们標定的问题，是我们缺少了一双眼睛。”

  梁孟松直起腰，看著不远处那台已经初具雏形、被无数管线包裹著的庞然大物，语气沉重：“14纳米的晶圆上有几十层复杂的电路图形，每一次曝光都必须和上一层严丝合缝。光靠光刻机自身的对准系统是不够的，我们现在就像是在蒙著眼睛开跑车。”

  “您是说……量测仪？”工程师立刻反应了过来。

  “对。科磊的独立量测仪。”梁孟松按了按发胀的太阳穴，“这台设备同样在美国商务部的管制名单上。没有它，我们哪怕把光刻机拼得再完美，也无法完成最终的流片良率验证。”

  他拔下主控台上的加密u盘，转身走向风淋室。

  “暂停所有曝光验证测试，保持基台恆温。我去见林总。”

  “咔噠。”